上海半導體裝備產業基地和上海半導體裝備產業發展中心。2005年4月,上海半導體裝備產業基地和上海市半導體裝備產業發展中心在金橋出口加工區南區揭牌,金橋出口加工區已成為上海市半導體裝備製造產業的重要發展區域。