上海半导体装备产业基地和上海半导体装备产业发展中心。2005年4月,上海半导体装备产业基地和上海市半导体装备产业发展中心在金桥出口加工区南区揭牌,金桥出口加工区已成为上海市半导体装备制造产业的重要发展区域。